Введение
1. Поверхность в твердотельных сенсорах газа и биосенсорах 13
1.1. Поверхность металлооксидных резистивных сенсоров газа 13
1.2. Полимерные плёнки и композитные покрытия 14
1.3. Покрытия в биосенсорах 17
Основные результаты и выводы 20
2. Получение образцов и основные методы их исследования 22
2.1. Формирование полупроводниковых покрытий с развитой поверхностью 22
2.2. Методика формирования образцов металл – полимерных композиционных материалов 23
2.3. Полимерные покрытия для биосенсоров 32
2.4. Методы исследования морфологии, состава и микроструктуры пленок и покрытий 33
2.5. Установка для исследования отклика мультисенсорной системы 35
Основные результаты и выводы 39
3. Фракталоподобные пленки в резистивных сенсорах газа и возможность мониторинга эволюции состава окружающей среды 41
3.1. Зародышеобразование и рост полупроводниковой плёнки с развитой поверхностью 41
3.2. Мониторинг состава окружающей среды 66
Основные результаты и выводы 75
4. Композитные покрытия для акустической изоляции элементов в мультисенсорных системах анализа газовых смесей на основе пьезорезонаторов 77
4.1. Акустические свойства композитов металл-полимер 77
4.2. Композитное демпфирующее покрытие 85
Основные результаты и выводы 91
5. Пленки полистирола с развитой поверхностью в качестве основы гибридных чувствительных слоев биосенсоров 92
5.1. Модификация поверхности тонких плёнок полистирола обработкой в плазме высокочастотного разряда 92
5.2. Эффективность иммобилизации биологических объектов на плёнках с развитой поверхностью 102
5.3. Микробиологическая активность иммобилизованных клеток 109
5.4. Регистрация биологических взаимодействий при помощи СВЧ электромагнитного резонатора 114
Основные результаты и выводы: 127
Заключение 129
Список используемой литературы 131
