Угловые распределения атомов при распылении одно- и двухкомпонентных материалов
Патракеев Андрей Станиславович. Угловые распределения атомов при распылении одно- и двухкомпонентных материалов : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04.- Москва, 2006.- 126 с.: ил. РГБ ОД, 61 06-1/470