Введение
1 Современные представления о структуре, свойствах и технологии получения феррогранатов для производ-ства подложек микрополосковых приборов СВЧ-электроники .13
1.1Кристаллическая и магнитная структура феррогранатов .13
1.2 Диаграммы состояния феррогранатов 27
1.3. Основы керамической технологии поликристаллических феррогранатов для подложек микрополосковой техники 31
1.4 Механизм образования ферритов со структурой граната .35
1.5 Магнитные свойства феррогранатов 39
1.6 Выращивание монокристаллов феррогранатов 44
1.7 Основные требования, предъявляемые к ферритовым материалам для микрополосковой техники 47
1.8 Получение подложек из поликристаллических феррогранатов для микрополосковых приборов СВЧ-электроники на начало настоящей работы 49
1.9 Выводы к главе 1 и постановка задачи исследования 51
2 Методика эксприментальных исследований .53
2.1 Исходное сырье для получения объектов исследования .53
2.2 Методика получения подложек из поликристаллических феррогранатов с высоким уровнем эксплуатационных параметров с использованием процесса спекания в регулируемой кислородной среде и е техническая реализация .55
2.3 Методика контроля усадки порошковых материалов при спекании в регулируемой кислородной среде и е техническая реализация 60
2.4 Диск из алмазосодержащего материала для обработки материалов электронной техники и изделий из них 63
2.5 Методики измерения коэрцитивной силы по намагниченности и намагниченности насыщения объектов исследования 70
2.5.1 Описание вибрационного магнитометра ВМ-07М 70
2.5.2 Система регистрации и преобразования сигналов вибрационного магнитометра ВМ-07М 72
2.5.2.1Технические данные 73
2.5.2.2 Устройство и работа системы регистрации и преобразования сигналов 74
2.5.2.3 Блок АЦП .76
2.5.2.4 Описание программы ПК 2.6 Определение электромагнитных параметров подложек из феррогранатов на СВЧ 79
2.7 Определение ширины линии ФМР феррогранатов 88
2.8 Определение магнитных свойств феррогранатов на постоянном токе 89
2.9 Рентгеноструктурный и рентгенофазовый анализ феррогранатов .91
2.10 Выводы к главе 2 .92
3 Особенности технологии получения поликристаллических подложек из феррогранатов для микрополосковых приборов свч-электроники спеканием врегулируемой кислородной атмосфере 93
3.1 Возможные пути совершенствования технологии получения поликристаллических феррогранатов 94
3.1.1 Влияние химического состава и физико-химического состояния шихты на параметры феррогранатов 92
3.1.2 Влияние термообработки на свойства феррогранатов 97
3.1.3 Влияние газовой фазы на процессе спекания феррогранатов 98
3.2. Спекание феррогранатов в регулируемой кислородной атмосфере 104
3.3 Оптимизация параметров процесса спекания феррогранатов в регулируемой кислородной среде. Математическая модель процесса спекания 109
3.4 Способ получения поликристаллических феррогранатов путем изостатического прессования и спекания в атмосфере смеси кислорода и паров воды в присутствии карбида кремния .
3.5 Методика прессования порошковых материалов для изделий электронной техники и е техническая реализация 122
3.6 Выводы к главе 3 .125
4 Получение в регулируемой кислородной среде поликристаллических гранатов иттрий-галлиевой системы и иттрий-гадолиний-кальций-ванадий-индиевой системы пониженной намагниченности с улучшенными характеристиками для подложек микрополосковых устройств свч-электроники 127
4.1 Получение поликристаллических феррогранатов иттрий-галиевой системы с намагниченностью насыщения MS = 32 кА/м и MS = 48 кА/м с улучшенными характеристиками для подложек микрополосковых устройств 127
4.2 Получение термостабильных поликристаллических феррогранатов иттрий-гадолиний-кальций-ванадий-индиевой системы для подложек микрополосковых устройств 135
4.3 Способ получения термостабильных поликристаллических феррогранатов иттрий-гадолиний-кальций-ванадий-индиевой системы путем спекания в атмосфере кислорода под давлением 149
4.4 Выводы к главе 4 .152
5 Микрополосковые приборы на подложках из поликристаллических феррогранатов, полученных при использовании разработанных технологий . 154
5.1 Параметры производимых по разработанной технологии поликристаллических феррогранатов в сравнении с материалами других фирм-производителей 154
5.2 Сравнение разработанной технологии получения поликристаллических феррогранатов с другими существующими технологи .156
5.3Микрополосковыециркуляторы и вентили производства АО «НПП «Исток им. Шокина»на подложках поликристаллических феррогранатов, полученных при использовании разработанных технологий 158
5.4 Выводы к главе 5 .162
Основные результаты и выводы .163
Литература
