Введение
1 Структура и математические модели микромеханического гироскопа и его основных элементов 14
1.1 Состав и описание датчика угловой скорости на базе ММГ 14
1.2 Уравнения динамики и математическая модель пространственного движения ЧЭ ММГ
1.3 Анализ динамики ЧЭ ММГ при воздействии гармонических моментов по оси вторичных колебаний 25
1.4 Динамика ММГ при воздействии угловой скорости движения основания 28
1.5 Математические модели электромеханических элементов конструкции 35
1.6 Математическая модель преобразователя "емкость-напряжение" 42
1.7 Характеристики датчиков момента с учетом моментов электростатического тяжения
1.8 Структурная схема объекта управления и его математическая модель 51
2 Возбуждение и стабилизация первичных колебаний ММГ 56
2.1 Задачи системы управления первичными колебаниями 56
2.2 Использование резонансных свойств чувствительного элемента в контуре возбуждения. Амплитудная модель первичных колебаний ММГ ... 56
2.3 Основные принципы построения и классификация систем управления первичными колебаниями 61
2.4 Возбуждение первичных колебаний в автогенераторном режиме 67
2.5 Возбуждение первичных колебаний опорным генератором и системой фазовой автоматической подстройки частоты 68
2.6 Способы линеаризации и коммутации управляющего момента 76
2.7 Стабилизация параметров первичных колебаний 80
2.8 Программа параметрического синтеза системы управления первичными колебаниями "Микродрайвер" 84
2.9 Широтно-импульсное управление ММГ параметрами
2.10 Анализ влияния разброса физических параметров ЧЭ ММГ на динамические характеристики системы стабилизации 89
2.11 Исследование системы управления первичными колебаниями методом полунатурного моделирования 90
3 Управление вторичными колебаниями ММГ 99
3.1 Задачи систем управления вторичными колебаниями и их классификация 99
3.2 Влияние демпфирующей обратной связи на характеристики ММГ 102
3.3 Влияние позиционной обратной связи на характеристики ММГ 105
3.4 Частотные характеристики огибающих вторичных колебаний
3.5 Анализ динамики фазных составляющих при управлении позиционной обратной связью
3.6 Модели динамики огибающих вторичных колебаний ММГ 120
3.7 Обобщенная модель и управление огибающими вторичных колебаний ММГ 126
3.8 Система совмещения частот первичных и вторичных колебаний на базе фазового детектора 131
3.9 Синтез регулятора для компенсации момента сил Кориолиса при работе ММГ в режиме совмещенных частот 134
4 Экспериментальные исследования опытного образца ММГ 139
4.1 Описание и основные характеристики опытного образца ММГ 139
4.2 Анализ влияния расстройки частот на синфазную и квадратурную составляющие вторичных колебаний ММГ 145
4.3 Оценка работоспособности и динамических характеристик системы управления первичными колебаниями 146
4.4 Оценка работоспособности демпфирующей обратной связи в системе управления вторичными колебаниями 146
Заключение 149
Список используемых источников 150
