Введение
Глава 1. Современное состояние микросистемных акселерометров 11
1.1. Обзор и анализ микросистемных чувствительных элементов датчиков ускорений 11
1.2. Особенности построения интегральных маятниковых подвесов из кремния 27
1.3. Особенности газодинамического демпфирования микромеханических маятников акселерометров 31
1.4. Особенности построения математических моделей маятниковых чувствительных элементов 35
Выводы 37
Глава 2. Разработка математической модели микросистемного акселерометра 38
2.1. Оценка числа степеней свободы маятника микросистемного акселерометра 39
2.2. Исследование характеристик чувствительного элемента микросистемного акселерометра 43
2.3. Математическое описание чувствительного элемента как динамической системы 53
2.4. Разработка электрической схемы микросистемного акселерометра 57
2.5. Разработка структурной схемы и полной передаточной функция микросистемного акселерометра 68
Выводы 72
Глава 3. Оценка погрешностей микросистемного акселерометра и выбор путей для их снижения ... 74
3.1. Расчет погрешности статической характеристики интегрального маятника 76
3.2. Выбор оптимального соотношения между размерами отдельных элементов акселерометра и их температурными коэффициентами 78
3.3. Определение добротности интегральных чувствительных элементов 82
3.4. Соотношение жесткостей "электрической пружины" и механического подвеса 85
3.5 Разработка противоударного демпфера для микросистемных акселерометров 87
3.6. Расчет погрешности микросистемного акселерометра от поперечных составляющих ускорений 89
3.7. Оценка величины пульсаций в выходном сигнале акселерометра 90
3.8. Оценка продольной устойчивости упругих подвесов интегральных маятников акселерометров 91
3.9. Оптимизация газодинамического демпфирования подвижного узла 95
Выводы 98
Глава 4. Экспериментальные исследования микросистемных акселерометров 99
4.1. Описание объекта экспериментальных исследований 100
4.2. Описание испытательных установок для экспериментальных исследований микросистемных акселерометров 102
4.3. Методика определения погрешностей статической характеристики интегрального акселерометра по экспериментальным данным 103
4.4. Экспериментальные исследования жесткости упругих подвесов 110
5. Температурные испытания микросистемных акселерометров 114
6. Экспериментальные исследования динамических характеристик микросистемных акселерометров 119
Выводы 125
Заключение 127
Перечень принятых обозначений 128
Литература 131
