Введение
Глава 1 Характеристика синхротронного излучения синхротрона «Сириус» 23
1.1. Некоторые сведения о теории синхротронного излучения моноэнергетического электрона 23
1.2. Влияние технических параметров ускорителя на характеристики синхротронного излучения 27
1.3. Спектральные, угловые и поляризационные характеристики синхротронного излучения синхротрона «Сириус» 31
Глава 2 Оборудование и аппаратура для экспериментов синхротронним излучением 45
2.1. Каналы синхротронного излучения ускорителя «Сириус» 45
2.2. Использование монохроматора ВМР-2 на каналах синхротронного излучения 53
2.3. Монохроматор нормального падения для работ с синхротронным излучением 61
2.4. Автоматизированная система для экспериментов с синхротронным излучением 75
2.5. Программное обеспечение автоматизированной системы для экспериментов с синхротронным излучением 84
Глава 3 Исследование оптических свойств твёрдых тел в вакуумной ультрафиолетовой области спектра с использованием синхротронного излучения 90
3.1. Методы определения оптических постоянных твёрдых тел из спектров отражения 90
3.2. Исследование оптических свойств ниобия области энергий от 5 доЗОЭв 100
3.3. Исследование спектров возбуждения люминесценции кальцийвольфраматных и кальцийсульфидных люминофоров в области энергий 12 - 30 эВ 108
Глава 4 Исследование электронной структуры и процессов размножения электронных возбуждений в диэлектрических кристаллах методами фотоэлектронной спектроскопии с синхротронным излучением 133
4.1. Методы и устройства для измерения фотоэлектронных спектров и спектров квантового выхода фотоэмиссии кристаллов диэлектриков с возбуждением синхротронным излучением 133
4.2. Исследование электронной структуры и процессов размножения электронных возбуждений в кристалле окиси магния методами отражательной и фотоэлектронной спектроскопии 143
4.3. Исследование размножения электронных возбуждений в кристаллах окиси бериллия 153
4.4. Спектры отражения и квантового выхода фотоэмиссии нитратов и хлоратов ряда щелочных металлов в области энергий 10-30 эВ 158
Глава 5 Экспериментальные исследования по рентгеновской литографии с синхротронным излучением 165
Введение 165
5.1. Канал синхротронного излучения ускорителя «Сириус» для рентгеновской литографии 167
5.2. Экспериментальные результаты по исследованию резистов и шаблонов для рентгеновской литографии 177
3. Изготовление опытных образцов регулярных трековых мембран методом глубокой рентгеновской литографии с синхротронным излучением 184
4. Шаблоны для глубокой рентгеновской литографии из металлического тантала 192
5. Использование периодических микроструктур с большим аспектным отношением в кристалле арсенида галлия для генерации монохроматического рентгеновского излучения релятивистками электронами. 208
Заключение 217
Литература 221
