Введение
1 Поверхностные фазы и их электрофизические свойства 10
1.1 Поверхностные фазы на кремнии 10
1.1.1 Описание кристаллической структуры поверхностных фаз. 11
1.1.2 Состав и свойства поверхностных фаз на кремнии 13
1.1.3 Роль поверхностных фаз в процессах на поверхности кремния 15
1.2 Электропроводность полупроводников 17
1.2.1 Основные сведения о электропроводности 17
1.2.2 Поверхностная проводимость 26
1.2.3 Механизмы проводимости 28
1.3 Электрическая проводимость поверхностных фаз Si( 100)2х 1, Si(l 11)7x7 35
1.4 Электрическая проводимость поверхностных фаз кремний- адсорбат 39
2 Экспериментальная установка и методы исследований. 51
2.1 Экспериментальная установка 51
2.2 Метод дифракции медленных электронов 55
2.3 Четырехзондовый метод измерения проводимости 61
2.4 Двухзондовый метод измерения проводимости 65
2.5 Подготовка образцов. 67
3 Автоматизация измерений проводимости 70
3.1 Метрология 70
3.2 Принципы построения автоматизированных систем сбора данных. 71
3.3 Система автоматизации измерений проводимости 73
4 Исследование электрической проводимости поверхностных фаз на кремнии 79
4.1 Измерение электрической проводимости поверхностных фаз 79
4.2 Измерение электрической проводимости поверхностных фаз Al/Si(100) 81
4.3 Исследование адсорбции Na на поверхностную фазу Si(lll)4xl-In 87
4.4 Измерение электрической проводимости одно- и трехдоменной поверхностной фазы Si(lll)5x2-Au 92
Основные результаты работы Ю1
Литература ЮЗ
