Введение
ГЛАВА I. Влияние процесса ионизации на кинетические коэффициенты в низкотемпературной плазме 13
1.1. Расчет кинетических коэффициентов путем решения уравнения Больцмана 14
1.1.1. Уравнение Больцмана без учета вторичных электронов 16
1.1.2. Учет ионизации в случае импульсного разряда Таунсенда 18
1.1.3. Учет ионизации в случае стационарного разряда .19
1.1.4. Уравнение для пробоя газа высокочастотным полем
1.1.5. Вид ионизационного члена 22
1.1.6. Применимость двучленного приближения при высоких 25
1.2. Расчет кинетических коэффициентов электронов в гелии и азоте 27
1.2.1. Метод численного расчета 27
1.2.2. Результаты для гелия 32
1.2.3. Результаты для азота 52
1.3. Заключение 69
ГЛАВА 2. Функция распределения электронов по скоростям в переменном электрическом поле 70
2.1. Точные решения электронного кинетического уравнения в переменном электрическом поле 72
2.2. Способ численного решения нестационарного кинетического уравнения 82
2.3. Дисперсия линейного отклика дрейфовой скорости электронов в слабоионизованной плазме на высокочастотное поле 86
2.3.1. Аналитический расчет для модельного интеграла столкновений 87
2.3.2. Численный расчет для реальных газов 90
2.4. Зависимость усредненной частоты ионизации от частоты переменного поля 94
2.4.1. Аналитический расчет для модельного интеграла столкновений 96
2.4.2. Численный расчет для реальных газов 100
2.5. О приближенном учете влияния нестационарности электрического поля кинетические коэффициенты 105
2.5.1. Приближенный расчет скорости дрейфа и границы его применимости
2.5.2. Анализ применимости теории возмущений на основе точного решения кинетического уравнения Больцмана
2.6. Заключение
ГЛАВА 3. Кинетическое исследование высокочастотной неустойчивости разряда в газах 117
3.1. Условие возникновения кинетической неустойчивости 119
3.2. Уравнения, описывающие неустойчивость в однородном случае 122
3.3. Условие применимости линейной гидродинамической теории высокочастотной неустойчивости 123
3.4. Автомодельные решения нестационарного кинетического уравнения с самосогласованным полем 126
3.5. Численное решение нестационарного кинетического уравнения с самосогласованные полем 133
3.6. Заключение 141
Заключение 142
Литература 144
