Введение
Глава 1. Обзор литературы 13
1.1 Люминесцентные свойства различных дефектных структур в кремнии 13
1.2 Формирование и свойства центров дислокационной люминесценции в кремнии 26
1.2.1 Дислокационная люминесценция в кремниевых структурах, полученных методом пластической деформации 26
1.2.2 Структуры с дислокационной люминесценцией, полученные при гидрофильном сращивании разориентированных кремниевых пластин 37
1.2.3 Дислокационная люминесценция кремния, обусловленная наличием кислородных преципитатов 40
1.2.4 Формирование центров дислокационной люминесценции при облучении кремния ионами 43
1.2.5 Влияние примесей на дислокационную люминесценцию в кремнии 48
1.3 Выводы по результатам литературного обзора 50
Глава 2. Формирование и распределение центров дислокационной люминесценции в кремнии при имплантации ионов кремния 53
2.1 Методика эксперимента 53
2.2 Структура и люминесцентные свойства кремния, имплантированного ионами кремния в условиях термостабилизации 55
2.3 Выводы 60
Глава 3. Исследование влияния исходных и ионно-внедренных примесей на дислокационную люминесценцию в кремнии, имплантированном ионами Si+ 61
3.1 Методика эксперимента 61
3.2 Зависимость интенсивности дислокационной фотолюминесценции от типа исходной легирующей примеси 62
3.3 Исследование фотолюминесцентных свойств образцов с центрами дислокационной люминесценции, облученных ионами различной природы 68
3.4 Выводы 74
Глава 4. Исследование влияния облучения ионами бора на дислокационную люминесценцию 76
4.1 Методика эксперимента 76
4.2 Влияние легирования кремния бором на ДЛ при 77 K 77
4.3 Особенности спектров низкотемпературной дислокационной люминесценции имплантированных бором образцов 80
4.4 Температурная зависимость интенсивности дислокационной люминесценции образцов кремния, легированных бором 83
4.5 Влияние процедуры алюминиевого геттерирования на температурную зависимость дислокационной люминесценции в ионно-имплантированном кремнии 87
4.6 Модель температурной зависимости дислокационной фотолюминесценции в имплантированных бором образцах 92
4.7 Выводы 98
Заключение 100
Благодарности 102
Список сокращений 103
Список работ, опубликованных автором по теме диссертации 104
Список литературы 108
