Введение
ГЛАВА 1. Критерии экспериментального моделирования распыления зеркал в ИТЭР 17
1.1. Оптические диагностики плазмы в ИТЭР. Проблема первого зеркала. Режимы эксплуатации зеркал 17
1.2. Оценка средней энергии, компонентного состава и флюенса атомов перезарядки на первой стенке ИТЭР за год эксплуатации. Влияние компонентного состава на распыление 34
1.3. Выбор материала и структуры зеркал для проведения имитационных исследований по распылению. Критерии сравнения материалов для первого зеркала 41
1.4. Общие критерии проведения имитационных экспериментов по исследованию устойчивости к распылению в ТЯР 55
1.5. Выбор устройства для моделирования распыления в ИТЭР 58
ГЛАВА 2. Моделирование распыления зеркал в магнетронном распылительном устройстве 60
2.1. Экспериментальное оборудование 60
2.2. Методика применения магнетрона в имитационных экспериментах по распылению 61
2.3. Выбор состава газовой смеси для имитационного распыления в магнетронном разряде 63
2.4. Расчет исходного состава газовой смеси по парциальным давлениям воздуха и дейтерия 64
2.5. Выбор режима распыления в магнетронном разряде на дейтерии...66
2.6. Зондовые измерения параметров плазмы в магнетронном разряде на дейтерии 68
2.7. Расчет требуемого для выполнения принятых критериев соотношения парциальных давлений воздуха и дейтерия в газовой смеси. Анализ влияния диссоциации на распыление в магнетронном разряде 74
2.8. Распределение плотности потока ионов на поверхности катода при распылении 78
ГЛАВА 3. Формирование отражающих покрытий из молибдена со столбчатой нанокристаллитной структурой 82
3.1. Выбор структуры покрытия 82
3.2. Выбор режима напыления 83
3.3. Экспериментальное оборудование 85
3.4. Нагрев и измерение температуры подложки в вакууме перед напылением 87
3.5. Очистка поверхности подложек перед напылением 92
3.6. Скалывание напыленного покрытия 93
3.7. Структура монокристаллического и монокристаллитного зеркал 98
3.8. Влияние аморфно-дефектного слоя на отслаивание напыленного покрытия ,. — 102
3.9. Исследование микродефектов монокристаллического зеркала после локального механического воздействия 104
ГЛАВА 4. Исследование деградации молибденовых монокристаллических и нанокристаллитных зеркал при моделировании распыления в ИТЭР 106
4.1. Оптические измерения. Оборудование. Методика 106
4.2. Зависимость локальных оптических характеристик зеркал после распыления от флюенса распыляющих ионов 108
4.3. Исследование морфологии поверхности зеркал после распыления.. 111
4.4. Анализ полученных результатов 120
Заключение. 125
Библиография.
