Введение
ГЛАВА 1 Литературный обзор 10
1.1 Структура оксидных пленочных полупроводников 10
1.1.1 Структура In2O3 10
1.1.2 Структура ZnO 13
1.1.3 Структура SnO2
1.2 Электрические свойства и механизмы электропереноса в оксидных полупроводниках 20
1.3 Структура и электрические свойства композита металл-диэлектрик
1.3.1 Структура композита металл-диэлектрик 28
1.3.2 Электрические свойства и механизмы переноса в композите металл-диэлектрик 30
1.4 Газовая чувствительность полупроводниковых пленок 35
1.4.1 Взаимодействие молекул газовой фазы с поверхностью полупроводника 36
1.4.2 Определение газовой чувствительности полупроводниковых материалов 39
ГЛАВА 2 Научное оборудование и методики для получения и исследования гетерогенных структур
2.1 Оборудование для получения тонкопленочных материалов 43
2.1.1 Определение толщин полученных материалов 45
2.2 Методика структурного анализа
2.2.1 Метод рентгеновской дифракции 46
2.2.2 Методика малоуголовых рентгеновских исследований 48
2.3 Методы исследования полученных тонкопленочных материалов 50
2.3.1 Методика исследования удельного электрического сопротивления пленок в диапазоне температур от 275 до 873 K 50
2.3.2 Методика исследования удельного электросопротивления пленок в диапазоне температур от 77 до 275 K 52
2.3.3. Методика измерения магниторезистивных свойств исследуемых пленок
2.3.4 Методика исследования электрического сопротивления тонких пленок от состава газовой среды
2.3.5 Методика нанесения палладия на поверхность образца 56
ГЛАВА 3 Структура пленок In2O3,ZnO, SnO2, (Co40Fe40B20)34(SiO2)66, (In2O3/ZnO)83, (In2O3/SnO2)69, [In2O3/(Co40Fe40B20)34(SiO2)66]92 58
3.1 Структура пленки In2O3 58
3.2 Структура пленки ZnO 60
3.3 Структура пленки SnO2 63
3.4 Структура пленки (Co40Fe40B20)34(SiO2)66 64
3.5 Структура пленки (In2O3/ZnO)83 66
3.6 Структура пленки (In2O3/SnO2)69 72
3.7 Структура пленки [In2O3/(Co40Fe40B20)34(SiO2)66]92 75 Выводы ГЛАВЫ 3 80 ГЛАВА 4 Электрические свойства пленок ZnO, In2O3, SnO2, (Co40Fe40B20)34(SiO2)66 и многослойных систем (In2O3/ZnO)83,
(In2O3/SnO2)69, [In2O3/(Co40Fe40B20)34(SiO2)66]92 82
4.1 Проводимость многослойных систем (In2O3/ZnO)83, (In2O3/SnO2)69,
[(Co40Fe40B20)34(SiO2)66/In2O3]92 82
4.1.1 Проводимость многослойной системы (In2O3/ZnO)83 82
4.1.2 Проводимость многослойной системы (In2O3/SnO2)69 84
4.1.3 Проводимость многослойной системы [In2O3/(Co40Fe40B20)34(SiO2)66]92 86
Выводы раздела 4.1 92
4.2 Высокотемпературные зависимости проводимости многослойных систем (In2O3/ZnO)83 и (In2O3/SnO2)69 92
4.2.1 Температурные зависимости сопротивления пленок (In2O3/ZnO)83 93
4.2.2Температурные зависимости сопротивления пленок (In2O3/SnO2)69 96
Выводы к разделу 4.2 98
4.3. Механизмы электропереноса в многослойной пленке (In2O3/ZnO)83 99
4.3.1 Низкотемпературные зависимости проводимости пленок ZnO
4.3.2 Низкотемпературные зависимости проводимости пленок In2O3 105
4.3.3 Низкотемпературные зависимости проводимости многослойных систем (In2O3/ZnO)83 111
4.3.4 Эффект Холла в пленках In2O3, ZnO и многослойной системе (In2O3/ZnO)83 115
4.3.5 Магниторезистивный эффект в пленках In2O3, ZnO и многослойной системы (In2O3/ZnO)83 117
4.3.6 Некоторые аспекты применения эффекта слабой локализации электронов проводимости в интерпретации структурных преобразований пленок In2O3, и (In2O3/ZnO)83 при термической обработки 119
Выводы раздела 4.3 121
4.4 Влияние адсорбции водорода на процессы электропереноса в пленках ZnO, In2O3 и (In2O3/ZnO)83 122
Выводы раздела 4.4 129
Заключение 130
Список литературы
