Введение
Современное состояние приборов на интегральных принципах и проблемы технологического обеспечения точности их характеристик . 13
Краткий исторический очерк развития интегральных датчиков и интегральной технологии 13
Кремний как конструкционный материал 21
Технологические проблемы при обеспечении необходимых конструктивно-механических параметров интегральных датчи ков 26
Выводы 37
Исследование влияния анизотропного химического травления монокристаллического кремния на конструктивно-механические параметры чувствительных элементов интегральных датчиков 39
Качественный анализ различных способов размерной обработ
ки полупроводникового монокристаллического кремния . 39
Исследование влияния анизотропного химического травления монокристаллического кремния на конструктивные параметры чувствительной массы интегральных акселерометров 43
Влияние анизотропного характера химического травления монокристаллического кремния на конструктивно-механические параметры упругих подвесов интегральных акселерометров 54
Влияние анизотропных свойств химического травления монокристаллического полупроводникового кремния на конструктивно-механические параметры мембран интегральных датчиков давления 60
Выводы 67
Глава 3. Исследование влияния технологических факторов размерной обработки на точность геометрических параметров чувствительных элементов интегральных датчиков 69
3.1. Основные технологические погрешности при размерной обработке полупроводниковых кремниевых пластин 69
3.2. Влияние неидеальности геометрии формы на конструктивно-механические параметры чувствительных элементов интегральных акселерометров и датчиков давлений 77
3.3. Метод регулируемого размерного травления как способ повышения воспроизводимости толщины упругих подвесов чувствительных элементов интегральных датчиков 84
3.4. Размерный синтез погрешностей при изготовлении чувствительных элементов интегральных датчиков 91
Выводы 98
Глава 4. Экспериментально-статистические исследования воспроизводимости выходных характеристик датчиков на интегральных шишгипах 100
4.1. Математическая модель технологического процесса изготовления чувствительного элемента интегрального акселерометра 100
4.2. Количественная оценка вариации массы чувствительного элемента интегрального акселерометра в условиях производства 107
4.3. Экспериментально-статистические исследования влияния технологических операций на угловую жесткость чувствительного элемента интегрального акселерометра 113
Выводы 119
Заключение 121
Приложение 123
Литература 126
