Введение
Глава 1 . Модифицирование поверхности кремния 10
1.1. Применение кремния в нанотехнологии 10
1.2. Модифицирование поверхности кремния 13
1.2.1. Модифицирование оптических свойств кремния 14
1.2.2. Модифицирование электрических свойств 15
1.2.3. Модифицирование рельефа поверхности кремния 17
1.2.4. Модифицирование механических свойств кремния 19
1.2.5. Модифицирование поверхности кремния тонкими покрытиями 22
1.3. Легирование алмазоподобных углеродных покрытий азотом 24
1.3.1. Структура углеродных покрытий 25
1.3.2. Аморфный углерод 26
1.3.3. Структура и теоретически предсказанные свойства нитрида углерода
1.3.4. Методы получения и свойства азотсодержащих углеродных покрытий
1.4. Модели формирования покрытий в условиях ионного облучения 47
Выводы к главе 1 70
Глава 2. Феноменологическая модель формирования углеродных покрытий при наличии газа азота
Выводы к главе 2 76
Глава 3. Результаты экспериментальных исследований электропроводности и механических свойств системы «углеродное покрытие, легированное азотом - кремний»
3.1. Оборудование, материалы и методы, используемые для проведения экспериментальных исследований
3.2. Результаты экспериментальных исследований зависимости электропроводности системы «углеродное покрытие, легированное з азотом — кремний» от параметров процесса формирования
3.3. Результаты исследований зависимости микротвердости системы «углеродное покрытие, легированное азотом — кремний» от нагрузки
3.4. Результаты исследований трещиностоикости системы «углеродное покрытие, легированным азотом - кремний»
3.5. Результаты исследований влияния облучения ионами аргона на дефектность поверхности кремния
3.6. Результаты трибологических исследований системы «углеродное покрытие, легированное азотом - кремний» от параметров процесса формирования
Выводы к главе 3 117
Заключение 119
Использованная литература 121,
Приложение 1 139
Приложение 2 140
