Введение
ГЛВА 1. Физические процессы в тлеющем разряде и их влияние на свойства поверхности обрабатываемых материалов. состояние вопроса и постановка задачи исследований 9
1.1. Физические процессы в тлеющем разряде 9
1.1.1. Структура тлеющего разряда 9
1.1.2. Катодное падение потенциала 12
1.1.3. Аномальный тлеющий разряд 15
1.1-4. Общие подходы к описанию тлеющего разряда 17
1.1.5. Переход от тлеющего разряда к дуговому. 20
1.1.6. Воздействие импульсов высокого напряжения на газоразрядный промежуток 22
1.2. Изменение свойств поверхности материалов под действием тлеющего разряда 25
1.2.1. Очистка поверхности материалов в плазме тлеющего разряда 26
1.2.2. Изменение структуры поверхностных слоев материалов под действием тлеющего разряда. Физико-химические процессы при ионном азотировании 32
1.3. Повышение эффективности процессов модификации поверхности материалов в плазме тлеющего разряда 38
1.4. Постановка задачи исследований 46
ГЛАВА 2. Влияние переменного электрического поля на уравнения движения заряженных частиц. тлеющий разряд 49
2.1. О силах, действующих на заряженную частицу в переменном неоднородном электрическом поле 49
2.2. Влияние переменного электрического поля на тлеющий разряд 53
2.3. Катодный слой тлеющего разряда (одномерный случай) 57
2.4. Действие импульсов напряжения на тлеющий разряд 59
2.5. Об особенностях ускорения положительных ионов в катодном слое ... 62
2.6. Энергия ионов и электронов в катодном слое 64
2.6.1. Энергия положительных ионов на катоде 65
2.6.2. Энергия электронов в катодном слое 70
2.6.3. Обсуждение результатов 73
2.7. Выводы : 74
ГЛАВА 3. Исследование воздействия импульсов высокого напряжения на газоразрядный промежуток и влияния сильных импульсных полей на обработку материалов в тлеющем разряде 79
3.1. Конструкция и электрическая схема генератора мощных высоковольтных импульсов 79
3.2. Исследование воздействия импульсов высокого напряжения на газоразрядный промежуток 94
3.3. Влияние сильных импульсных полей на процессы, протекающие на катоде в тлеющем разряде 103
3.3.1. Активация поверхности полиэтилена 103
3.3.2. Ионное азотирование стали 110
3.4. Выводы 112
ГЛАВА 4. Моделирование процессов ионизации в плазме тлеющего разряда 117
4.1. Математическая модель ионизационных процессов в газоразрядной
4.2. Расчет характеристик тлеющего разряда 121
4.2.1. Стационарный тлеющий разряд 123
4.2.2. Импульсный разряд 127
4.3. Выводы 130
Заключение 132
Литература 135
