Введение
1.ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР 5
1.1. Масс-спектральные методы анализа твердотельных образцов 5
1.1.1. Искровая масс-спектрометрия 5
1.1.2. Масс-спектрометрия вторичных ионов и нейтральных 6 распыленных атомов
1.1.3. Масс-спектрометрия с лазерной абляцией 8
1.1.4. Резонансно-ионизационная масс-спектрометрия 9
1.1.5. Масс-спектрометрия с индуктивно-связанной плазмой 10
1.1.6. Масс-спектрометрия тлеющего разряда 13
1.1.6.1. Постоянного тока 14
1.1.6.2. Переменного тока (радиочастотный) 15
1.1.6.3. Импульсный 15
1.2. Газоразрядные источники, используемые в масс-спектральном 16 анализе твердотельных образцов
1.3. Типы масс-спектрометров 18
1.3.1. Времяпролетная масс-спектрометрия 21
2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ 26
2.1. Описание экспериментальной установки 26
2.2. Описание работы установки 34
2.3. Рабочие параметры времяпролетного масс-спектрометра 37
2.4. Конструкция газоразрядного интерфейса 42
3. ИССЛЕДОВАНИЕ И ОПТИМИЗАЦИЯ ПАРАМЕТРОВ СИСТЕМЫ С ИМПУЛЬСНОЙ ИОНИЗАЦИЕЙ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ ОБРАЗЦОВ В
ПОЛОМ КАТОДЕ И ВРЕМЯПРОЛЕТНЫМ ДЕТЕКТИРОВАНИЕМ
ИОНОВ
3.1. Исследование и оптимизация параметров газоразрядного 48 интерфейса
3.1.1. Напряжение смещения лары катод - анод относительно 48 потенциала земли
3.1.2. Расстояние между сэмплером и скиммером 49
3.1.3. Частота следования импульсов разряда 50
3.1.4. Длительность импульсов разряда 52
3.1.5. Состав газовой смеси и давление в разрядной ячейке 54
3.1.6. Задержка выталкивающего импульса 60
3.1.7. Эффект памяти 62
3.2. Математическая обработка масс-спектров 64
4. АНАЛИЗ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ ОБРАЗЦОВ 66
4.1. Процедуры градуировки и протоколирования результатов анализа 66
4.2. Анализ проводящих проб 70
4.2.1. Подготовка пробы к анализу 70
4.2.2. Анализ высокочистой меди 71
4.2.3. Анализ свинца 75
4.2.4. Анализ инструментальной стали 78 4.3. Анализ диэлектрических проб 80
4.3.1. Подготовка пробы к анализу 80
4.3.2. Анализ стекловидного шлака свинцового производства и 81 боросиликатного стекла
4.4. Пределы обнаружения и воспроизводимость результатов 84
анализа
ВЫВОДЫ 86
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ 87
