Введение
ГЛАВА 1. Литературный обзор 15
1.1. Структура дислокаций в кремнии 15
1.2. Электронные состояния, обусловленные дислокациями в кремнии 17
1.3. Экспериментальные данные о глубоких электронных состояниях на
дислокациях по результатам измерений методом нестационарной емкостной
спектроскопии глубоких уровней (Deep Level Transient Spectroscopy (DLTS)). 21
1.4. Взаимодействие примесей переходных металлов с дислокациями 26
1.5. Золото и никель в кремнии
1.5.1. Диффузия и растворимость 28
1.5.2. Электрические свойства атомов золота и никеля в кремнии 29
1.5.3. Использование диффузии атомов золота для определения
распределения и концентрации ростовых дефектов 30
ГЛАВА 2. Методики экспериментов и приготовления образцов 31
2.1. Исходные характеристики образцов, использованных в работе 31
2.2. Приготовление образцов для исследования распределения и
концентрации ростовых вакансионных дефектов 31
2.3. Приготовление образцов для деформации 33
2.3.1. Образцы с малой плотностью дислокаций (ND106см-2) 33
2.3.2. Образцы с большой плотностью дислокаций (ND=(1-4)108см -2)
2.4. Алюминиевое геттерирование (AlG) 37
2.5. Диффузия золота и никеля 38
2.6. Приготовление Шоттки-контактов
2.7. Измерение спектров DLTS 40
2.8. Измерение карт диффузионной длины LD неосновных носителей заряда методом измерения тока, наведенного лазерным пучком в диодах Шоттки 47
2.9. Компьютерное моделирование процессов диффузии примесей
ГЛАВА 3. Распределение ростовых дефектов и диффузия никеля как метод детектирования неравновесных ростовых вакансионных дефектов в кремнии 57
3.1. Введение 57
3.2. Определение вакансионных дефектов стандартным методом: измерение профилей диффузии золота, с использованием ранее предложенной методики 59
3.3. Определение концентрации вакансионных дефектов с использованием диффузии никеля 64
3.4. Экспериментальные результаты, полученные с использованием диффузии никеля 68
3.5. Выводы по главе 3 71
ГЛАВА 4. Влияние скорости движения дислокаций на спектры их глубоких состояний 73
4.1. Введение 73
4.2. Влияние скорости движения дислокаций на спектр их глубоких состояний 75
4.3. Влияние легирования атомами никеля на концентрацию «С дефектов» в кристаллах кремния с дислокациями 83
4.4. Инвертированный сигнал нестационарной емкостной спектроскопии от дислокаций в кремнии 91
4.5. Выводы по главе 4 99
ГЛАВА 5. Исследование дефектов, образующихся в процессе движения дислокаций в плоскостях их скольжения 101
5.1. Введение 101
5.2. Детектирование дефектов, возникающих при движении дислокаций, путем декорирования их атомами золота 102
5.3. Взаимодействие атомов никеля с вакансионными дефектами, возникающими при движении дислокаций 112
5.4. Взаимодействие атомов золота с дислокациями в кремнии 117 5.5. Выводы по главе 5 119
Заключение 121
Список литературы
