Введение
1. Современное состояние исследований структуры тугоплавких металлов, сплавов, карбидов и нитридов, сформировавшейся в процессе химической газофазной кристаллизации 9
1.1. Вольфрам 11
1.2. Вольфрам-рениевые сплавы 22
1.3. Карбиды титана, циркония, ниобия, тантала и вольфрама 30
1.4. Нитриды циркония, гафния, ниобия и тантала 48
1.5. Обосноввїнад .необходимости проведения исследований струк-:щы тугоплавких металлов, сплавов, карбидов и нитридов, химически осажденных из газовой фазы 52
Постановка задачи 52
2. Методы синтеза, препарирования и исследования структуры тугоплавких газофазных материалов 54
2.1. Материалы, аппаратура и методы синтеза тугоплавких металлов (V,A/6, Та, О, Мо,\А/), сплавов (\Л/-#е), карбидов (7?С ,2i*C , NbC , ТаС, Та^С3, WgC ) и нитридов (ZrNiHfaNg , p-/V62/V , J-7^). 54
2.1.1. Осаждение вольфрама и тугоплавких ОЦК-металлов (V, Nb , Та, Сг , Мо) 54
2.1.2. Синтез W"Re- сплавов 57
2.1.3. Кристаллизация карбидов титана, циркония, ниобия и тантала газофазно-диффузионным методом 58
2.1.4. Осаждение карбидной фазы VVaC 60
2.2. Приборы, методы препарирования и исследования тугоШ плавких материалов 65
2.2.1. Просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ) 65
2.2.2. Методика препарирования объектов для исследования в ПЭМ 66
2.2.3. Дополнительные методы исследования 78
2.3. Дефекты кристаллического строения и особенности их анализа в ПЭМ 81
2.3.1. Дислокации и дислокационные петли: определение их вектора Бюргерса, типа и плотности 81
2.3.2. Дефекты упаковки (ДУ) 83
2.3.3. Двойники 84
3. Тонкая структура эпитаксиальных и гетероэпитаксиальных слоев 86
3.1. Эпитаксия W на монокристаллических гранях W и Мо 87
3.2. Гетероэпитаксиальный рост тугоплавких ОЦК-металлов на плоскости (001)Си -монокристалла 100
3.3. Гетероэпитаксиальный рост и структура многоориентаци-онных пленок b-N62N и f-Ta^N, выращенных на (001) Си - монокристалла и (00І)[І00]а- фольги 108
4. Тонкая структура текстурированных осадков W и W-Re - сплавов 124
4.1. Дислокационная структура и границы зерен текстуриро ванных поликристаллических осадков вольфрама 124
4.2. Дислокационная структура и границы зерен в текстури рованных поликристаллических \А/~@ -сплавах 137
5. Структура карбидов и нитридов переходных металлов ІУ-У групп 148
5.1. Тонкая структура карбида VJ^C и ее взаимосвязь с зонарным ростом газофазных осадков 148
5.2. Формирование структуры поликриоталлических слоев карбидов металлов ІУА-УА подгрупп и нитрида циркония на графите 165
5.2.1, Некоторые кинетические закономерности роста карбидов металлов ІУА-УА подгрупп на графите 165
5.2.2. Кинетика формирования микроструктуры и морфологии поверхности роста 172
5.2.3. Некоторые закономерности формирования тонкой структуры 185
5.3. Формирование тонкой структуры ^- фазы типа Мв4Х3(Та4С3 иН^А/з } 191
Общее заключение и выводы 205
