Введение
1. Аналитический обзор по теме «биоматериалы и методы формирования покрытий на основе гидроксиапатита» 12
1.1. Материалы, применяемые в медицине 12
1.2. Гидроксиапатит: структура и свойства 14
1.3. Методы формирования кальций-фосфатных покрытий 16
1.4. Теоретические основы процесса магнетронного распыления 22
1.5. Метод высокочастотного магнетронного распыления 27
1.6. Механизмы роста тонких пленок
1.6.1. Адсорбция 31
1.6.2. Зародышеобразование и термодинамические модели роста 32
1.6.3. Кинетические модели роста пленок 34
2. Материалы и методы исследования 38
2.1. Установка ВЧ-магнетронного распыления и режимы напыления покрытий 38
2.2. Приготовление мишени 41
2.3. Подложки для формирования покрытия 43
2.4. Спектральная эллипсометрия 44
2.5. Рентгеновская рефлектометрия 45
2.6. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия 46
2.7. Сканирующая электронная микроскопия 48
2.8. Рентгенофазовый анализ 48
2.9. Инфракрасная спектроскопия 50
2.10. Просвечивающая электронная микроскопия 51
2.11. Моделирование профиля распределения атомов по подложке 54
3. Результаты экспериментальных исследований и моделирования 60
3.1. Исследование влияния условий напыления на свойства покрытий 60
3.1.1. Экспериментальная скорость роста и плотность покрытий 60
3.1.2. Химический состав и стехиометрия покрытий 65
3.1.3. Структурно-фазовые особенности покрытий 70
3.1.4. Корреляционные зависимости свойств покрытий от геометрии расположения образцов при «вращении-качении» подложкодержателя 79
3.1.5. Морфологические и структурные особенности покрытия 83
3.1.6. Субструктура текстурированных покрытий 86
3.2. Сравнение результатов моделирования и экспериментальных данных 96
4. Закономерности структурообразования покрытий 102
4.1. Характеристика структуры покрытий с точки зрения расширенной зонной структурной теории 102
Выводы 112
Перечень принятых сокращений 114
Список литературы
