Введение
ГЛАВА I. Литературный обзор 9
1. Современные методы исследования состава и структуры приповерхностных слоев и пленок 9
2. Рентгеновская рефлектометрия 15
3. Резкоасимметричная компланарная дифракция 20
4. Резкоасимметричная некомпланарная дифракция 23
Глава II. Теория зеркального отражения рентгеновских лучей в условиях скользящей брэгговской дифракции в кристалле с аморфными слоями на поверхности 36
1. Совершенный монокристалл 37
2. Монокристалл с поверхностной аморфной пленкой 51
3. Интерпретация экспериментальных данных зеркального отражения от монокристалла кремния с окисной пленкой на поверхности 57
Глава III. Теория зеркального отражения рентгеновских лучей от кристалла с кристаллическими пленками на поверхности 65
1. Бикристалл 65
2. Бикристалл с различными проекциями на поверхность векторов обратной решетки в пленке и в подложке 74
Глава IV. Зеркальное отражение рентгеновских лучей от кристалла с аморфными и кристаллическими многослойными структурами на поверхности . 85
1. Многослойная аморфная пленка на поверхности кристалла 85
2. Многослойная кристаллическая структура 93
Основные результаты и выводы 105
Литература 107
