Введение
1 Анализ исследований в области управления качеством при производстве интегральных схем 13
1.1 Исследование существующих теорий контроля качества продукции 13
1.2 Анализ технологического процесса производства интегральных схем 16
1.3 Анализ технологического процесса производства интегральных схем как объекта управления 20
1.4 Целевая функция технологического процесса производства интегральных схем 23
1.5 Анализ современных методов оптимизации технологических процессов и контроля качества производства интегральных схем и постановка задачи
исследования 27
Выводы к главе 1 37
2 Разработка подсистемы оптимизации технологического процесса производства интегральных схем 38
2.1 Сравнение статистических и адаптивных методов оптимизации технологических процессов 38
2.2 Анализ современных САПР для проектирования интегральных схем 39
2.3 Разработка подсистемы адаптивного управления как части автоматизированной системы управления технологического процесса производства интегральных схем 42
2.4Задача оптимизации и анализ методов многокритериальной оптимизации технологических процессов 46
2.5 Алгоритм выделения главного критерия качества технологического процесса производства интегральных схем 50
2.6 Модификация метода анализа иерархий Т. Саати для выбора лучшего технического решения при производстве интегральных схем 54
2.7 Алгоритм выбора технологического оборудования при производстве новой серии интегральных схем 58
2.8 Алгоритм управления технологическим процессом производства интегральных схем 64
2.9Алгоритм выбора режима построения модели технологического процесса 76
Выводы к главе 2 83
3 Моделирование управления технологическим процесом производства интегральных схем с использованием алгоритма управления технологическим процессом производства интегральных схем (с подстройкой модели) 84
3.1 Моделирование управления технологическим процессом производства интегральных схем с подстройкой модели 84
3.2 Реализация алгоритма управления технологическим процессом производства для интегральных серий 130 и 533 91
Выводы к главе 3 105
4 Формирование математических моделей технологических операций при производстве интегральных схем 106
4.1 Классификация и анализ методов аппроксимации нелинейных характеристик 106
4.2 Построение модели операции ионной имплантации 116
4.3 Алгоритм построения модели технологических операций производства интегральных схем 120
Выводы к главе 4 124
Заключение 125
Список литературы
