Диффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантационных слоях кремния
Александров Олег Викторович. Диффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантационных слоях кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10.- Санкт-Петербург, 2003.- 322 с.: ил. РГБ ОД, 71 03-1/144-6
