Физические основы инженерии дефектов в технологии кремниевых силовых высоковольтных и светоизлучающих структур
Соболев Николай Алексеевич. Физические основы инженерии дефектов в технологии кремниевых силовых высоковольтных и светоизлучающих структур : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10 / Соболев Николай Алексеевич; [Место защиты: Физ.-техн. ин-т им. А.Ф. Иоффе РАН].- Санкт-Петербург, 2009.- 264 с.: ил. РГБ ОД, 71 10-1/87
