Введение
ГЛАВА 1. Структуры кремний на сапфире. технология, свойства и применение 10
1.1 Свойства структур КНД 10
1.2 Изготовление структур КНС 12
1.3 Физическо-химические структурные свойства границы раздела структур КНС 20
1.4 Изготовление структур КНС с улучшенным слоем кремния 25
1.5 Образование радиационных дефектов в кремнии 37
1.6 Отжиг радиационных дефектов в кремнии 43
1.7 Состояние исследований по тематике работы 49
ГЛАВА 2. Оборудование и методы исследования 51
2.1 Технологическая часть 51
2.2 Средства измерений 54
ГЛАВА 3. Физико-химические закономерности твердофазной рекристаллизации кремния 61
3.1 Моделирование твердофазной рекристаллизации 61
3.2 Рентгеноструктурный анализ кремния композиций КНС 63
3.3 Эллипсометрические исследования кремния структур КНС 66
3.4 Анализ примесного состава кремния структур КНС 70
ГЛАВА 4. Физико-химические закономерности финишного химико-механического полирования кремния 73
4.1 Определение параметров шероховатости поверхности кремния 75
4.2 Электронография поверхности кремния
4.3 Измерение поверхностного сопротивления кремния 80
ГЛАВА 5. Эксперментальное определение электрофизических параметров КНС-приборов 83
5.1 Определение электрофизических параметров по тестовым структурам 83
5.2 Проведение функционального контроля тестовых микросхем 88
Выводы 90
Список использованных источников
