Физико-технические основы создания оптимизированных высоковакуумных магниторазрядных насосов, герметизирующих элементов и устройств для вакуумного технологического и аналитического оборудования электронной техники
Курбатов Олег Константинович. Физико-технические основы создания оптимизированных высоковакуумных магниторазрядных насосов, герметизирующих элементов и устройств для вакуумного технологического и аналитического оборудования электронной техники : дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.06 Москва, 2005 360 с. РГБ ОД, 71:06-5/549
