Разработка реактора эпитаксиального наращивания одиночных подложек и исследование в нем теплофизических и физико-механических процессов
Миркурбанов Халит Абдулгазизович. Разработка реактора эпитаксиального наращивания одиночных подложек и исследование в нем теплофизических и физико-механических процессов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 2005.- 246 с.: ил. РГБ ОД, 61 06-5/188
