Введение
Глава 1. Анализ методов и оборудования вакуумной металлизации полимерных пленок 9
1.1. Современное состояние производства гибких печатных плат 10
1.1.1. Классификация гибких печатных плат 10
1.1.2. Особенности технологий изготовления гибких печатных плат 12
1.2. Технологические методы и оборудование для нанесения проводящего слоя на полимерную пленку 19
1.2.1. Вакуумное нанесение покрытий на полимерную пленку 19
1.2.2. Технологические методы вакуумного нанесения покрытий 22
1.2.3. Состояние разработок технологического оборудования вакуумной металлизации полимерной пленки 22
1.3. Методы повышения адгезионной способности покрытий 36
1.3.1. Механизмы возникновения адгезионной способности 36
1.3.2. Методы повышения адгезионной способности покрытий 39
Выводы и постановка задачи 41
Глава 2. Физическая модель формирования высоко адгезионного слоя металла к поверхности полимера 44
2.1. Физико-химические процессы, протекающие при воздействии плазмы на полимерные материалы 44
2.2. Теоретический анализ процесса развития рельефа плоской поверхности 55
2.3. Разработка физической модели формирования высокоадгезионного слоя металла к поверхности полимера 61
Глава 3. Разработка конструкции экспериментального оборудования и проверка физической модели 64
3.1. Разработка образца экспериментального оборудования вакуумной металлизации полимерных пленок для производства гибких печатных плат 64
3.2. Система перемотки экспериментальной установки 68
3.2.1. Описание лентопротяжного механизма 68
3.2.2. Разработка конструкции барабана 69
3.2.3. Шибер-заслонка 76
3.3. Источники модификации и металлизации полимерной пленки 78
3.3.1. Конструкция ионного источника 78
3.3.2. Конструкция магнетронного источника 82
3.4. Методика проведения эксперимента 91
3.5. Исследование адгезионной способности проводящих слоев к политетрафторэтилену.
3.5.1. Исследование модификации поверхности ПТФЭ плазмохимической обработкой 94
3.5.2. Исследование адгезионной способности проводящих слоев к ПТФЭ 100
Глава 4. Разработка образца промышленной установки и технологии вакуумной металлизации полимерных пленок для производства гибких печатных плат 104
4.1. Вакуумная система и система перемотки промышленной установки 105
4.1.1. Описание вакуумной системы 105
4.1.2. Описание системы перемотки 105
4.1.3. Описание конструкции барабана 108
4.2. Источники модификации и металлизации полимерной пленки 111
4.2.1. Протяженный ионный источник 111
4.2.2. Протяженный магнетронный источник 112
4.3. Разработка технологии вакуумной металлизации 118
Заключение 123
Литература 125
Приложения 134
