Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумного электронно-зондового и ионно-лучевого оборудования микроэлектроники
Фатьянова Галина Ивановна. Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумного электронно-зондового и ионно-лучевого оборудования микроэлектроники : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 Москва, 2005 248 с. РГБ ОД, 61:05-5/2872