Разработка материалов и процессов для формирования системы металлизации СБИС субмикронного уровня
Климовицкий Анатолий Григорьевич. Разработка материалов и процессов для формирования системы металлизации СБИС субмикронного уровня : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 : Москва, 2004 138 c. РГБ ОД, 61:05-5/294