Введение
ГЛАВА 1. Тонкопленочная солнечная энергетика 10
1.1 Кремниевые тонкопленочные фотоэлектрические преобразователи 13
1.2 Технология изготовления двухкаскадных тонкопленочных солнечных модулей на основе аморфного и микрокристаллического кремния размером 1100х1300 мм 18
1.3 Технология получения аморфного гидрогенизированного кремния с нанокристаллическими включениями; полиморфный и протокристаллический кремний 28
1.4 Влияние технологических параметров на свойства материалов и параметры фотоэлектрических преобразователей на основе кремния 40
Выводы по первой главе 55
ГЛАВА 2. Разработка технологии аморфного гидрогенизированного кремния с нанокристаллическими включениями с улучшенной фоточувствительностью и стабильностью 56
2.1 Плазмо-химическое осаждение из газовой фазы пленок кремния на установке KAI 56
2.2 Методы исследования тонких пленок кремния и структур на их основе 61
2.3 Исследование нелегированного слоя аморфного кремния первого каскада двухкаскадного тонкопленочного солнечного модуля 65
2.4 Разработка технологии и исследование пленок аморфного гидрогенизированного кремния с нанокристаллическими включениями 69
Выводы по второй главе 84
ГЛАВА 3. Формирование и исследование тонких нелегированных пленок микрокристаллического кремния 85
3.1 Условия формирования и методы исследования тонких пленок микрокристаллического кремния 85
3.2 Исследование собственного слоя микрокристаллического кремния второго каскада тонкопленочного солнечного модуля 86
3.3 Исследование нелегированного слоя микрокристаллического кремния второго каскада двухкаскадного тонкопленочного солнечного модуля .. 90
Выводы по третьей главе 98
4. Исследование двухкаскадных солнечных модулей, полученных при различных режимах осаждения нелегированного слоя микрокристаллического кремния второго каскада 100
4.1 Изготовление образцов однокаскадных фотоэлектрических преобразователей и двухкаскадных тонкопленочных солнечных модулей 104
4.2 Исследование пленки ZnO для прозрачных проводящих электродов 106
4.3 Исследование однокаскадных тонкопленочных солнечных ячеек на основе аморфного кремния 113
4.4 Исследование характеристик двухкаскадных тонкопленочных солнечных минимодулей размером 100х100мм 116
4.5 Исследование деградации двухкаскадных тонкопленочных минимодулей на основе аморфного и микрокристаллического кремния. 123
4.6 Исследование двухкаскадных тонкопленочных солнечных модулей большой площади, полученных при различных режимах осаждения нелегированного слоя микрокристаллического кремния 127
Выводы по четвертой главе 130
Заключение 132
Список сокращений и условных обозначений 134
Список литературы
