Введение
Глава 1 Современное состояние в области систем искусственного обоняния и некоторых видов газовых сенсоров (краткий обзор литературы) 10
1.1 Общие принципы систем искусственного обоняния и физические принципы для формирования первичных преобразователей 10
1.2 Актуальность использования и примеры применения систем искусственного обоняния 19
1.3 Термокаталитический эффект и сенсоры на его основе 27
1.4 Хеморезистивный эффект и сенсоры на его основе 30
1.5 Выводы к Главе 1 36
Глава 2 Формирование и исследование мультисенсорных линеек на основе термокаталитических элементов 38
2.1 Составление и газочувствительные характеристики линеек из дискретных термокаталитических датчиков 38
2.2 Газочувствительные характеристики термокаталитических элементов, сформированных на одном кристалле 58
2.3 Выводы к Главе 2 63
Глава 3 Формирование и исследование газового сенсора и мультисенсорной линейки на основе окисленной титановой нити 65
3.1 Изготовление газовых сенсоров на основе окисленной титановой нити 65
3.2 Газочувствительные характеристики газовых сенсоров на основе окисленной титановой нити 68
3.3 Выводы к Главе 3 76
Глава 4 Формирование и исследование мультисенсорных линеек на основе графеновых нанолент 78
4.1 Синтез латерально расширенных графеновых нанолент 78
4.2 Исследование физических характеристик рГНЛ 79
4.3 Исследование газочувствительных характеристик сенсоров на основе рГНЛ 90
4.4 Выводы к Главе 4 99
Глава 5 Формирование и исследование мультисенсорных линеек на основе вискеров сульфида титана 100
5.1 Синтез вискеров сульфида титана и изготовление сенсоров 100
5.2 Исследование газочувствительных характеристик сенсоров на основе вискеров сульфида титана 104
5.3 Выводы к Главе 5 109
Глава 6 Применение импедансной спектрометрии хеморезистивных элементов для получения газоаналитического векторного сигнала 110
6.1 Методика измерения комплексного сопротивления сенсорных элементов с помощью импедансной спектрометрии 110
6.2 Результаты измерения комплексного сопротивления сенсорных элементов мультисенсорного чипа и их обработка 113
6.3 Выводы к Главе 6 123
Заключение 124
Список литературы 127
Приложение 150
