Введение
1. Введение. Квантово-размерные структуры на моноатомных и многокомпонентных полупроводниках. Аналитический обзор, обоснование и постановка задачи 5
1.1 Наноэлектроника - новое направление электронной техники 5
1.2 Современное состояние технологических методов создания полупроводниковых квантово-размерных структур 6
1.3 Методы исследования квантово-размерных структур. Возможности выявления эффектов размерного квантования 13
1.4 Преимущества квантово-размерных структур при создании приборов и устройств наноэлектроники 16
1.4.1 Проявление эффектов размерного квантования в оптических явлениях 16
1.4.2 Радиационная стойкость кристаллов с квантовыми точками 21
1.4.3 Создание приборов на системах с размерным квантованием 23
1.5 Методы математического и компьютерного анализа изображений образцов наноразмерных структур 26
1.5.1 Фурье-анализ 26
1.5.2 Фрактальный анализ 27
1.5.3 Вейвлет анализ 28
1.5.4 Сравнение методов математического анализа 30
1.6 Выводы по первой главе 31
2. Формирование и анализ квантово-размерных структур Si-Ge полученных методом ионной имплантации 33
2.1 Формирование наноразмерных структур 33
2.2 Анализ структур методами сканирующей зондовой микроскопии 35
2.3 Пространственное распределение внедренных ионов германия с образованием наноразмерных кластеров. ВИМС анализ и Оже спектроскопия высокого пространственного разрешения: результаты анализа 41
2.4 Контроль проявления квантово-размерных свойств методом Рамановского рассеяния света 45
2.5 Фотолюминесценция на квантовых точках Si-Ge 47
2.6 Фрактальный и Фурье анализы синтезированных наноразмерных структур Si-Ge 50
2.7 Основные результаты и выводы 59
3. Образование упорядоченных структур дисилицида кобальта при ионном синтезе. Анализ степени упорядоченности 61
3.1 Особенности ионного синтеза при высоких плотностях тока ионного пучка 62
3.2 Ионный синтез упорядоченных структур на поверхности кремния 67
3.3 Фрактальный, вейвлет и Фурье анализы синтезированных упорядоченных структур CoSi2. 70
3.4 Основные результаты и выводы 79
4. Моделирование степени упорядоченности наноразмерных структур 82
4.1 Методика моделирования 82
4.2 Применение и перспективы разработанной методики для анализа наноразмерных структур 89
4.3 Основные результаты и выводы 90
Заключение. Основные результаты и выводы 91
