Введение
ГЛАВА 1. Анализ вариантов реализации микроструктур 10
1.1 Литографические технологии при производстве микроструктур 10
1.2 Лазерная термохимическая запись 13
1.3 Исследования различных методов в области формирования микрорельефа ДОЭ 16
1.4 Анализ работ по формированию микро- и наноструктур методом лазерной абляции вещества 29
1.5 Постановка задачи исследования 33
Выводы к главе 1 34
ГЛАВА 2. Экспериментальные исследования процесса абляции пленок молибдена под действием лазерного излучения 35
2.1 Материалы и технологический подход 35
2.1.1 Лазерная термохимическая запись 36
2.1.2 Передача структур в подложку 37
2.2 Выбор исследуемых параметров пленок молибдена 38
2.3 Исследование параметров пленок молибдена и субмикронных структур. 39
2.4 Формирование фазового микрорельефа методом ионно-реактивного травления 46
2.5 Исследование зависимости ширины трека от мощности лазерного излучения , 49
2.6 Формирование микрорельефа с широкими зонами 55
2.7 Моделирование влияния технологических погрешностей на решетку 58
Выводы к главе 2 61
ГЛАВА 3. Термоокислительная деструкция пленок молибдена 62
3.1 Параметры лазерной абляции 62
3.2 Деструкция пленок под воздействием лазерного излучения 67
3.3 Расчет толщины оксидного слоя и минимальной мощности лазерного излучения .68
3.4 Химический и элементный анализ состава пленок 71
3.5 Формирование микрорельефа термическим окислением пленок молибдена 74
Выводы к главе 3 80
ГЛАВА 4. Моделирование процесса абляции пленок молибдена 81
4.1 Спектрофотометрические исследования образцов 81
4.2 Численное моделирование процесса взаимодействия лазерного излучения с пленкой молибдена 86
4.2.1 Метод и постановка задачи 86
4.2.2 Численный эксперимент и результаты .90
Выводы к главе 4 99
Заключение 100
Список сокращений 101
Список условных обозначений 102
Список литературы
