Введение
Глава 1. Литературный обзор 10
1.1. Германий и его свойства 10
1.2. Нанокластеры германия в оксидных матрицах
1.2.1. Формирование нанокомпозитных систем Genc@oxide 16
1.2.2. Фотолюминесцентные свойства системы Genc@oxide 25
1.3. Пористый оксид алюминия 32
1.3.1. Методы синтеза 32
1.3.2. Пористый оксид алюминия в нанотехнологиях 37
1.4. Выводы по главе 1, постановка цели и задач 40
Глава 2. Приборы и методы 42
2.1. Осаждение пленок методом термического испарения 42
2.2. Атомно-силовая микроскопия - контроль толщины и шероховатости покрытий 45
2.3. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия 48
2.4. Спектроскопия диффузного отражения 51
2.5. Фотолюминесцентная спектроскопия 53
2.6. Выводы по главе 2 54
Глава 3. Установка для вакуумно-термического напыления. Исследование режимов осаждения пленок Германия 55
3.1. Модернизация установки LAS-2000 для синтеза пленок Ge методом термического напыления 55
3.2. Качественная оценка химического состава остаточной среды установки LAS-2000 63
3.3. Степень однородности покрытия при термическом напылении 65
3.4. Анализ химического состава пленок германия 71
3.5. Выводы по главе 3 з
Глава 4. Нанокомпозитные системы Genc@AAO: получение, исследование структуры и морфологи и 76
4.1. Синтез пористых матриц ААО 76
4.2. Особенности термического напыления Ge на матрицу ААО 82
4.3. Кристаллическая структура нанокомпозитной системы Genc@AAO 84
4.4. Исследование морфологии нановключений Ge в нанокомпозитной системе Genc@AAO 88
4.5. Выводы по главе 4 95
Глава 5. Оптические свойства нанокомпозитной системы Genc@AAO 96
5.1. РФЭС исследования границы раздела Genc/AAO 96
5.2. Спектры оптического поглощения Genc/AAO 101
5.3. Фотолюминесценция Genc@AAO 105
5.4. Выводы по главе 5 108
Заключение 109
Список работ соискателя 111
Литература
