Введение
Глава 1. Формирование тонких пленок силицидов 3d-металлов на поверхности кремния (обзор литературы) 9
1.1. Силициды железа и магнитные пленки железа на кремнии 9
1.2. Силициды кобальта 17
1.3. Силициды марганца 21
1.4. Синтез сплавов Гейслера 24
1.5. Выводы из обзора и постановка задач исследования 29
Глава 2. Техника эксперимента 31
2.1. Фотоэлектронная спектроскопия остовных уровней 31
2.2. Экспериментальные установки и методика измерений 34
2.3. Методика исследования магнитных свойств с помощью эффекта МЛД 39
2.4. Фотоэлектронная спектроскопия с разрешением по спину 42
Глава 3. Магнитные пленки кобальта и его силицидов на поверхности кремния 45
3.1. Начальные стадии роста пленок Со на поверхности Si(111)7х7 45
3.2. Рост пленок Со на поверхностях Si(100)2х1 и Si(110)16х2 52
3.3. Реакции силицидообразования в системе Co/Si 56
3.4. Магнитные свойства пленок кобальта и его силицидов 64
Глава 4. Сверхтонкие пленки железа, марганца и их силицидов на кремнии 70
4.1. Пленки железа и силицидов железа 70
4.1.1. Рост пленок железа на кремнии 70
4.1.2. Реакции силицидообразования в системе Fe/Si 73
4.1.3. Магнитные свойства сверхтонких слоев железа на кремнии 75
4.2. Сверхтонкие слои железа на вицинальных поверхностях кремния 80
4.3. Рост пленок марганца на поверхностях Si(100)2х1 и Si(111)7х7 89
4.4. Твердофазные реакции в системе Mn/Si 95
Глава 5. Синтез сверхтонких пленок ферромагнитных сплавов на поверхности кремния 102
5.1. Рост пленок кремния на поверхности железа и кобальта 102
5.1.1. Формирование интерфейса Si/Co 102
5.1.2. Интерфейс Si/Fe 109
5.2. Двухслойные пленки железа и кобальта на кремнии 113
5.3. Формирование пленок Co2FeSi на поверхности чистого кремния 120
5.4. Формирование пленок Co2FeSi на кремнии с барьерным слоем CaF2 126
5.4.1. Синтез пленок Co2FeSi и исследование их магнитных свойств 126
5.4.2. Анализ пленок методом фотоэмиссии с разрешением по спину 131
Заключение 136
Список литературы 138
