Введение
ГЛАВА 1. Литературный обзор 7
1.1 Актуальность применения высокочистого аммиака микроэлектронной промышленностью 7
1.2 Влияние примесного состава в аммиаке на характеристики получаемых изделий 8
1.3 Физико-химические методы очистки аммиака 12
1.3.1 Химические методы 12
1.3.2 Дистилляционные методы 13
1.3.3 Сорбционные методы 15
1.3.4 Кристаллизационные методы 18
1.3.5 Фильтрационные методы 19
1.3.6 Мембранные методы 20
1.3.7 Комбинированные способы очистки 26
ГЛАВА 2. Глубокая очистка аммиака дистилляционными методами 32
2.1 Методика определения эффективного коэффициента разделения жидкость-пар для системы аммиак-примесь в динамических и статических условиях 32
2.2 Расчет коэффициента разделения жидкость пар. Определение коэффициента разделения жидкость-пар в динамических и статических условиях 43
2.3 Методика анализа аммиака 65
ГЛАВА 3. Очистка аммиачных смесей методом абсорбционной первапорации 73
ГЛАВА 4. Нзкиотемпературная фильтрация ля глубокой очистки аммиака 76
4.1 Методика определения эффективности процесса низкотемпературной фильтрации аммиака 76
4.2 Глубокая очистка аммиака методом низкотемпературной фильтрации 83
ГЛАВА 5. Мембранное газоразделение для глубокой очистки аммиака 92
5.1 Методика определения проницаемости 92
5.2 Методика определения коэффициента разделения 98
5.3 Определение проницаемости исследуемых газов через мембраны и расчет идеальной селективности 102
5.4 Определение коэффициента разделения смеси аммиак - азот и аммиак - оксид углерода (II) на одном мембранном модуле 110
5.5 Глубокая очистка аммиака с использованием мембранного каскада 115
5.6 Глубокая очистка аммиака на мембранном модуле с питающим резервуаром 125
ГЛАВА 6. Технология получения высокочистого аммиака 130
выводы 136
Список использованных источников
