Исследование и разработка конструктивно-технологических решений создания элементов фоточувствительной микросистемы с использованием методов приборно-технологического моделирования
Балашов Александр Геннадьевич. Исследование и разработка конструктивно-технологических решений создания элементов фоточувствительной микросистемы с использованием методов приборно-технологического моделирования : дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 Москва, 2006 143 с. РГБ ОД, 61:07-5/1166