Введение
Глава 1. ДМОП - как мощный элемент интеллектуальных силовых интегральных схем и проблемы, возникающие при его разработке и изготовлении
1.1 Интеллектуальные силовые схемы 8
1.2 Возможные конструктивно-технологические особенности создания мощного элемента для интеллектуальной силовой схемы .
1.3 Принцип работы, ВАХ и формулы, связывающие основные характеристики. 26
1.3.1 Вол ьтамперные характеристики 26
1.3.2 Связь пробивного напряжения и сопротивления в открытом состоянии. 28
1.4 Общие выводы и постановка задачи диссертации 30
Глава 2. Методика моделирования характеристик мощного вертикального ДМОП-транзистора с охранными кольцами
2.1. Сушение прсраммы анализа характерна полупроводниковых приборов
2.2 Возможности САПР SYNOPSYS и выбор программ данного пакета для проведения оптимизации конструкции и технологического маршрута изготовления мощного ДМОП - транзистора .
2.3 Способы оценки пробивного напряжения с использованием инструментов приборно-технологического моделирования
2.4 Способы оценки сопротивления ДМОП-транзистора. 41
2.5 Выводы 46
Глава 3. Анализ факторов влияющих на пробивное напряжение ДМОП-транзистора
3.1 Параметры, влияющие на пробой рп-перехода 48
3.1.1 Влияние полевой обкладки на лавинный пробой р-n перехода 51
3.1.2 Влияние охранных колец на лавинный пробой р-n перехода 54
3.2 Параметры, влияющие на пробивное напряжение ячейки ДМОП-транзистора 67
3.3 Выводы 70
Глава 4 Анализ факторов влияющих на сопротивление ДМОП-транзистора в открытом состоянии .
4.1 Составляющие сопротивление в открытом состоянии 71
4.2 Конструктивно-технологические параметры, влияющие на сопротивление ДМОП-транзистора
4.3 Влияние температуры среды 81
4.4 Модель сопротивления в открытом состоянии ДМОП-транзистора 84
4.5 Оптимизация ширины дрейфовой области РТ перехода 86
4.6 Выводы 89
Глава 5. Разработка мощного ДМОП-транзистора 90
5.1 Сравнение результатов эксперимента и моделирования 90
5.2 Методика расчета мощного ДМОП-транзистора 91
5.3 Моделирование динамических характеристик ячейки ДМОП-транзистора 103
5.4 Выводы 109
Заключение
Список использованных источников
