Исследование и разработка щелевого реактора с удлиненным подложкодержателем для эпитаксиального наращивания кремния на одиночных подложках
Кравченко, Анатолий Анатольевич. Исследование и разработка щелевого реактора с удлиненным подложкодержателем для эпитаксиального наращивания кремния на одиночных подложках : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Кравченко Анатолий Анатольевич; [Место защиты: Нац. исслед. ун-т МИЭТ].- Москва, 2012.- 173 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-5/2531
