Введение
ГЛАВА 1. Проблема построения упруго–управляемых исполнительных устройств оборудования электронной техники 20
1.1. Состояние теории по расчёту основных параметров упруго– управляемых исполнительных устройств 20
1.2. Упруго–управляемые исполнительные устройства сверхточного перемещения (на основе электроуправляемой деформации) 41
1.3. Применение упруго–управляемых исполнительных устройств в оборудовании электронной техники 46
1.4. Системный подход к вопросу моделирования упруго–управляе мых исполнительных устройств 71
1.5. Выводы и постановка задачи исследований 71
ГЛАВА 2. Теоретические основы создания бескорпусной вакуумной коммутационной аппаратуры на принципе упруго-управляемой деформации 75
2.1. Анализ и исследование структур и кинематических моделей бескорпусных вакуумных клапанов и затворов 75
2.2. Клапан с произвольной ориентацией пассивного элемента. Теоретические исследования структуры 85
2.3. Математическая модель быстродействия вакуумной коммутацонной аппаратуры на базе приводов управляемой упругой деформации 89
2.4. Математическая модель герметичного вакуумного уплотнения при молекулярном режиме течения газа 100
Выводы к главе 2 109
ГЛАВА 3. Экспериментальные исследования герметичности уплотнений 111
3.1. Цели и задачи экспериментальных исследований 111
3.2. Высоковакуумная экспериментальная установка 112
3.3. Схема методики проведения эксперимента 117
3.4. Оценка погрешности экспериментального оборудования 121
Выводы к главе 3 130
ГЛАВА 4. Основы построения и создания бескорпусной вакуумной коммутационной аппаратуры на принципе управля емой упругой деформации 131
4.1. Классификация и особенности построения бескорпусной вакуумной коммутационной аппаратуры 131
4.2. Клапан на базе привода незамкнутого контура 133
4.3. Щелевые бескорпусные вакуумные затворы 136
4.4. Перспективные разработки бескорпусных высоковакуумных затворов 140
4.5. Перспективные разработки внутрикамерных функциональных систем и устройств 160
4.6. Уточнение классификации бескорпусных клапанов и затворов и их приводов на принципе управляемой упругой деформации 168
Выводы к главЕ 4 176
ГЛАВА 5. Математическая модель виброзащитной системы оборудования электронной техники на основе упругоуправ ляемых исполнительных устройств построенная по многокоординатной схеме 177
5.1. Математическая модель модуля виброзащиты с шестью
степенями свободы для ростового оборудования 178
5.2. Расчеты многостепенных виброзащитных модулей на ЭВМ 180
5.3. Обобщённый критерий оценки качества виброзащитного уст ройства 191
5.4. Трёхуровневая система виброзащиты оборудования электронной техники 198
ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ 5 201
ГЛАВА 6. Построение упруго-управляемых пьезомеханических исполнительных устройств 202
6.1. Теоретический подход к решению задачи построения электро управляемых устройств упругой деформации 202
6.2. Методы выбора оптимальных элементов электроуправляемых исполнительных устройств упругой деформации 206
6.2.1. Блочно-иерархический подход к проектированию пьезо привода 206
6.2.2. Обобщённый критерий оценки качества пьезоприводов 211
6.3. Компьютерные исследования пьезомеханических устройств 212
6.4. Синтез механизмов поиска решений пьезомеханических исполнительных устройств 217
6.4.1. Расчёт пьезомодуля для нанотехнологии 217
6.4.2. Выбор оптимального профиля пьезомодуля 220
6.4.3. Синтез алгоритмов поиска технических решений пьезо модуля 223
ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ 6 227
ГЛАВА 7. Реализация разработанной концепции построения исполнительных устройств электронной техники на принципе управляемой упругой деформации 229
7.1. Источники газа для пневмопривода 229
7.1.1. Сплавы накопители водорода, как обратимые пневмо-источники 229
7.1.2. Внешние пневмоисточники 234
7.1.3. Интегрированные пневмоисточники 237
7.2. Приводы перемещения 240
7.2.1. Приводы перемещения на основе трубчатых элементов 240
7.2.2. Сильфонные приводы перемещения 242
7.3. Линии перемещения и транспортные системы 244
7.4. Вакуумные клапаны и затворы 245
7.4.1. Вакуумные клапаны и затворы на элементах управляемой упругой деформации 245
7.4.2. Вакуумные клапаны и затворы на элементах упругой деформации с прощёлкиванием 248
7.4.3. Миниатюрные вакуумные клапаны 263
7.4.4. Дозирующие вакуумные клапаны 268
7.5. Вакуумные насосы 272
7.5.1. Вакуумные насосы с жесткой мембраной 272
7.5.2. Вакуумные насосы с мягкой мембраной 275
7.5.3. Сильфонные и сильфонно-поршневые вакуумные насосы 276
7.5.4. Вытеснительные вакуумные насосы на основе сплавов
накопителей водорода 283
7.6. Виброзащитные устройства 284
7.6.1. Виброзащитное устройство упругой деформации не имеющее режима настройки 284
7.6.2. Программируемые и регулируемые виброзащитные устройства 2 86
7.6.3. Виброзащитные устройства предварительного гашения колебаний 292
7.7. Математическая модель сложных перемещений многоко-ординатного исполнительного устройства в оборудовании тонкоплёночных технологий 296
7.8. Сервисно-измерительные устройства 297
7.8.1. Датчики-реле температуры 297
7.8.2. Заглушки 299
7.8.3. Координатный столик 301
7.9. Философия построения комплексной системы исполнительного вакуумного оборудования 306
7.9.1. Направления построения комплексной системы исполнительного вакуумного оборудования 306
7.9.2. Практика построения комплексной системы исполнительного вакуумного оборудования 306
7.9.3. Особенности производства и эксплуатации элементов исполнительного вакуумного оборудования 307
7.9.4. Создание философии построения комплексной системы исполнительного вакуумного оборудования 307 7.9.5. Дополнительные работы по построению комплексной системы исполнительного вакуумного оборудования 316
Заключение 319
Литература
