Термические характеристики и стабильность тонких пленок на основе a-Si:H и его сплавов и халькогенидных полупроводников системы Ge-Sb-Te
Горшкова, Екатерина Викторовна. Термические характеристики и стабильность тонких пленок на основе a-Si:H и его сплавов и халькогенидных полупроводников системы Ge-Sb-Te : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Горшкова Екатерина Викторовна; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники].- Москва, 2010.- 173 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-5/543
