Разработка технологии получения слоев политетрафторэтилена химическим осаждением из газовой фазы
Уваров, Андрей Анатольевич. Разработка технологии получения слоев политетрафторэтилена химическим осаждением из газовой фазы : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Уваров Андрей Анатольевич; [Место защиты: С.-Петерб. гос. политехн. ун-т].- Санкт-Петербург, 2011.- 133 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-5/1141