Введение
Глава 1. Анализ литературы по исследованиям эксимерных KrF (248 нм) и ArF (193 нм) лазеров 15
1.1. Физические принципы работы эксимерных KrF (248 нм) и ArF (193 нм) лазеров 15
1.1.1. Эксимерный KrF (248 нм) лазер 19
1.1.2. Эксимерный,4г7г(193 нм) лазер 24
1.2. Обзор литературы по исследованиям газоразрядных KrF (248 нм) и ArF (193 нм) лазеров 31
Глава 2. Экспериментальная установка и методы исследований 36
2.1. Описание экспериментальной установки 36
2.2. Аппаратура и методы исследований 43
Глава 3 Исследование энергетических и временных характеристик накачки и излучения эксимерного газоразрядного KrF (248 им) лазера на смеси He:Kr:F2 45
3.1. Эксимерный KrF лазер на основе буферного газа Не с энергией 0,8 Дж и кпд 2,0% 45
3.2. Исследование влияния интенсивности накачки на энергию излучения и кпд KrF лазера на смеси He:Kr:F2 53
Глава 4. Исследование энергетических и временных характеристик накачки и излучения эксимерного газоразрядного ArF (193 нм) лазера на смеси He(Ne):Ar:F2 67
4.1. Эксимерный ArF лазер с энергией излучения 0,5 Дж в активной среде He;Ar:F2 67
4.2. Исследование влияния интенсивности накачки на энергию излучения и кпд ArF лазера на смеси He:Ar:F2 75
4.3. Исследование влияния сорта буферного газа на параметры накачки и излучения ArF лазера 83
Заключение 116
Литература
