Исследование миграции атомов кристаллической решетки при ионно-лучевой обработке полупроводников
Серба, Павел Викторович. Исследование миграции атомов кристаллической решетки при ионно-лучевой обработке полупроводников : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01.- Таганрог, 2000.- 32 с.: ил.