Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов
Щербакова, Елена Николаевна. Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01.- Минск, 2000.- 22 с.: ил.
