Исследование процессов формирования и защиты поверхности планарных p-n переходов и модернизация базовой технологии изготовления фотодиодов на основе InSb
Талимов Алексей Владимирович. Исследование процессов формирования и защиты поверхности планарных p-n переходов и модернизация базовой технологии изготовления фотодиодов на основе InSb : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 2001.- 109 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/901-X
