Моделирование диффузионных процессов изотермической жидкофазной эпитаксии полупроводников
Савченко, Владислав Анатольевич. Моделирование диффузионных процессов изотермической жидкофазной эпитаксии полупроводников : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Воронеж, 2000.- 135 с.: ил. РГБ ОД, 61 01-5/2-8