Исследование и разработка методов защиты поверхности кремниевых фотодиодов с применением ионной имплантации
Сорокин Константин Викторович. Исследование и разработка методов защиты поверхности кремниевых фотодиодов с применением ионной имплантации : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 Москва, 2000 145 с. РГБ ОД, 61:01-5/1177-1