Введение
ГЛАВА 1. Анализ состояния технологии механической обработки пластин кремния большого диаметра свободным и связаннымабразивом 8-48
1.1. Основы механической обработки пластин кремния 9-17
1.2. Структура и глубина повреждений в приповерхностных слоях пластин кремния при шлифовании 18-25
1.3. Новые тенденции в технологии обработки пластин кремния 26-46
1.4. Постановка задач исследований 47- 48
ГЛАВА 2. Анализ прямых и косвенных методов исследования приповерхностных повреждений в пластинах кремния и методов их визуализации 49-70
2.1. Двухкристальная рентгеновская дифрактометрия 49-55
2.2. Определение радиуса кривизны деформированных пластин кремния рентгеновским методом 56-59
2.3. Секционная рентгеновская топография пластин кремния 60 - 63
2.4. Методика определения приповерхностных повреждений методом «косого шлифа» 64-66
2.5. Применение окислительного теста для характеризации вторичных дефектов - окислительных дефектов упаковки (ОДУ) 67-68
2.6. Выводы 69-70
ГЛАВА 3. Экспериментальные исследования по определению структуры и глубины повреждений в приповерхностных слоях пластин кремния после двухстороннего шлифования (дсш) свободным абразивом 71-146
3.1. Применение сканирующей электронной микроскопии для определения формы зерна применяемого абразива 71 - 74
3.2. Определение глубины и структуры повреждений прямыми неразрушающими методами 74-94
3.3. Определение глубины и структуры повреждений прямыми разрушающими методами 95 - 110
3.4. Применение косвенных методов для характеризации различий в структуре приповерхностных повреждений после ДСШ свободным абразивом с различной формой и размером зерна и для разделения влияния дефектов после двухстадийного ХМП 111 - 129
3.5. Моделирование формирования нарушений в пластинах кремния при ДСШ свободным абразивом с различным размером и формой абразивных частиц 130- 139
3.6. Обоснование предлагаемого прецизионного способа двухстороннего шлифования пластин кремния свободным абразивом 140 - 142
3.7. Выводы 143- 146
ГЛАВА 4. Практическая реализация результатов работы 147-152
4.1. Разработка технологии прецизионного двухстороннего шлифования свободным абразивом
4.1.1. Разработка технологии приготовления шлифовальной суспензии на основе мелкого абразива с плоской гексагональной формой зерна с использованием вязкого суспензионного носителя 147 - 149
4.1.2. Технология двухстороннего шлифования пластин кремния 0150мм суспензией на основе мелкого абразива с применением вязкого суспензионного носителя 150-151
4.2. Практическое использование результатов работы 152
Общие выводы по работе 153-157
Литература
