Введение
1. Моделирование процессов роста тонких пленок на поверхности твердой фазы 10
1.1. Моделирование процессов роста тонких пленок из газовой фазы 14
1.2. Моделирование процессов роста тонких пленок из расплавов 18
1.3. Моделирование электрохимических процессов роста тонких пленок... 20
1.4. Моделирование процессов роста тонких пленок из растворов гидролизующихся соединений 22
1.5. Процессы роста тонких пленок с позиций теории самоорганизации... 27
1.6. Методы Монте-Карло при моделировании роста тонких пленок 34
1.7. Выводы 37
2. Исследование процессов формирования тонких пленок состава SiOx:SnOy по золь-гель технологии 38
2.1. Исследование процесса формирования структуры частиц золя 38
2.2. Исследование процесса формирования первичной (гелевой) структуры пленки 48
2.3. Исследование процесса формирования устойчивой структуры пленки 53
2.4. Выводы 55
3. Экспериментальное исследование влияния технологических параметров на структуру формируемых пленок 57
3.1. Исследование кинетики процесса созревания золя 60
3.2. Исследование влияния состава и температуры созревания золя на структуру формируемых пленок 66
3.3. Исследование влияния температуры отжига на структуру формируемых пленок 70
3.4. Выводы 75
4. Мод лирование параметров структуры тонких пленок, полученных по золь-гель технологии 77
4.1.Моделирование параметров структуры тонких пленок с позиций теории самоорганизации 77
4.1.1. Расчет фрактальной размерности 79
4.1.2. Определение показателей Ляпунова 82
4.1.3. Определение энтропии Колмогорова 83
4.2.Моделирование параметров структуры тонких пленок методом Монте-Карло 85
4.2.1. Алгоритм расчета агрегатов 87
4.2.2. Компьютерный эксперимент 89
4.2.3. Результаты моделирования 92
4.3. Методика проектирования технологических маршрутов получения тонких пленок состава SiOx :SnOy с заданной структурой для созданиясенсорных элементов на их основе 95
4.4.Выводы 100
Заключение 102
Список использованных источников 104
