Введение
Глава 1. Современные тонкопленочные материалы для газовой сенсорики 8
1.1. Современные тонкопленочные материалы, обладающие газочувствительными свойствами 8
1.2. Критерии выбора газочувствительных материалов для сенсоров газов 16
1.2.1. Микроструктура газочувствительных материалов 18
1.2.2. Электропроводность газочувствительных материалов 20
1.2.3. Химический состав газочувствительных материалов 22
1.3. Методы получения тонкопленочных оксидных материалов 26
1.3.1. Физические методы получения оксидных пленок 27
1.3.2. Химические методы получения оксидных пленок 34
1.3.3. Осаждение оксидных пленок из растворов гидролизующихся соединений 40
Выводы 47
Глава 2. Экспериментальные методы, используемые для исследования свойств тонкопленочных материалов 50
2.1. Интерференционная микроскопия для измерения толщины тонкопленочных материалов 50
2.2. Атомно-силовая микроскопия (АСМ) для контроля морфологии поверхности тонкопленочных материалов 51
2.3. Спектроскопия поглощения видимого излучения для определения ширины запрещенной зоны тонкопленочных материалов 53
2.4. Рентгеноструктурный анализ для определения фазового состава тонкопленочных материалов 54
2.5. Оже- электронная спектроскопия (ОЭС) и рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФЭС) для определения элементного состава тонкопленочных материалов 55
Выводы 57
Глава 3. Технология получения тонкопленочных материалов состава Si02SnOxAgOy 59
3.1. Выбор компонентов и составление рецептуры пленкообразующего раствора 59
3.2. Выбор метода нанесения тонкопленочного материала на подложку 62
3.3 Термическая обработка тонкопленочных материалов 64
Выводы 67
Глава 4. Исследование свойств тонкопленочных материалов состава Si02SnOxAgOy 68
4.1. Определение толщины тонкопленочных образцов 68
4.2. Исследование элементного и химического состава тонкопленочных образцов 69
4.3. Исследование морфологии поверхности и фазового состава тонкопленочных образцов 75
4.4. Исследование электрофизических свойств тонкопленочных образцов 85
Выводы 95
Глава 5. Исследование сенсорных характеристик тонкопленочных материалов состава Si02SnOxAgOy 97
5.1. Калибровка газовых сенсоров 97
5.2. Влияние состава и температуры отжига тонкопленочных образцов на их газовую чувствительность, время отклика и время восстановления. 98
5.3. Влияние температуры и влажности на газовую чувствительность тонкопленочного сенсора 111
5.4. Механизм газовой чувствительности сенсора к аммиаку 115
Выводы 120
Заключение 122
Список использованных источников 124
